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横河EJA130E工作原理
横河EJA130E压力变送器的工作原理主要基于单晶硅谐振式传感器技术。以下是其工作原理的详细描述：123传感器结构传感器核心部分是在单晶硅芯片上采用微电子机械加工技术（MEMS）制作的两个H形谐振梁，分别位于芯片的中心和边缘。这两个谐振梁处于微型真空腔中，不与充灌液接触，且振动时不受空气阻尼的影响。信号转换当单晶硅…
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详情介绍
横河EJA130E压力变送器的工作原理主要基于单晶硅谐振式传感器技术。以下是其工作原理的详细描述：123
传感器结构
传感器核心部分是在单晶硅芯片上采用微电子机械加工技术（MEMS）制作的两个H形谐振梁，分别位于芯片的中心和边缘。这两个谐振梁处于微型真空腔中，不与充灌液接触，且振动时不受空气阻尼的影响。
信号转换
当单晶硅片的上下表面受到压力并形成压力差时，芯片会产生形变。中心处的谐振梁受到压缩力，频率减少；边缘处的谐振梁受到张力，频率增加。
这两个频率之差被送到脉冲计数器，然后传递到CPU进行数据处理。
输出信号
经过CPU处理后的数据通过D/A转换器转换为与输入信号相对应的4~20mA DC的输出信号。
此外，模拟信号上叠加了一个BRAIN/HART数字信号，用于通信
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