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横河变送器EJA118E工作原理

横河EJA变送器的工作原理是基于单晶硅谐振式传感器技术。以下是详细的工作原理:传感器结构:EJA变送器的核心部件是单晶硅谐振传感器,它采用微电子机械加工技术(MEMS)在单晶硅芯片上制作两个形状、大小完全一致的H形状的谐振梁。这些谐振梁处于微型真空腔中,避免与充灌液接触,同时确保振动时不受空气阻尼的影响。振动原…
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横河EJA变送器的工作原理是基于单晶硅谐振式传感器技术。以下是详细的工作原理:

传感器结构:EJA变送器的核心部件是单晶硅谐振传感器,它采用微电子机械加工技术(MEMS)在单晶硅芯片上制作两个形状、大小完全一致的H形状的谐振梁。这些谐振梁处于微型真空腔中,避免与充灌液接触,同时确保振动时不受空气阻尼的影响。
振动原理:硅谐振梁在由永久磁铁提供的磁场中,与变压器、放大器等组成一个正反馈回路,使得谐振梁在回路中产生振荡。
受力情况:当单晶硅片的上下表面受到压力并形成压力差时,会产生形变。中心处的谐振梁受到压缩力,边缘处的谐振梁受到张力。这种应变作用使得两个谐振梁的频率发生变化,中心谐振梁频率减少,边侧谐振梁频率增加,两者的频率之差对应不同的压力信号。
信号转换:谐振梁将压力、差压信号转换为频率信号,这些频率信号被送到脉冲计数器,再将两频率之差直接传递到CPU(微处理器)进行数据处理。
输出信号:经过CPU处理后的数据,通过D/A转换器转换为与输入信号相对应的4~20mADC的输出信号,并在模拟信号上叠加一个BRAIN/HART数字信号进行通信。1234
EJA变送器具有高精度、高稳定性和高可靠性等特点,适用于测量液体、气体或蒸汽的流量以及液位、密度和压力等参数

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